武漢紫外固化箱曝光方法，適于利用一臺UVLED曝光機對晶片進行曝光。這種紫外固化箱至少是由用來承載晶片的曝光鏡頭以及液體循環裝置構成，其中液體循環裝置在曝光期間為曝光鏡頭與晶片之間供應液體。其特征在于，半導體UVLED曝光前，UVLED利用至少一對準光源對承載臺進行一對準操作，其中對準光源具有一特定波長，使液體揮發時對對準光源的影響降至zui低，以防止液體影響前述對準操作。紫外固化箱在替代傳統UV汞燈方面已經顯現出巨大的*性，對于節約成本、改善工藝提供了更優的選擇，隨著芯片封裝技術的進一步發展，芯片成本進一步優化，大面積、高功率的UVLED紫外面型光源源應用會日益廣泛。